
国家知识产权局信息显示,科磊股份有限公司申请一项名为“具有空间变化透射的光瞳滤光器”的专利,公开号CN121399451A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,一种检验系统包含定位于所述检验系统的成像光瞳中的光瞳滤光器。所述光瞳滤光器经配置以提供空间变化强度透射。所述光瞳滤光器是玻璃板,所述玻璃板的表面上安置有经图案化层。所述检验系统使用所述光瞳滤光器引入空间变化强度透射。
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